XYZ模块化变温探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

HCP421V-MPS Instec的真空型mini台式探针台系列是可从外部移动探针进行点针的桌上型探针台，涵盖多型号、多温度范围。同时允许温控、探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

XYZ模块化变温探针台功能特点

mimi型温控探针台，可集成到各种光学设备

可编程控温，涵盖-190℃~400℃

适用10 mm~26 mm晶圆和器件

可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针,

模块化设计，可自由组合

*可升级为8个独立探针

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

SMA接头转BNC四探针，手动点针

XYZ模块化变温探针台温控参数

温度范围 -190℃~400℃（负温需配液氮制冷）

加热块材质银

传感器/温控方式

最大升温速率100Ω铂RTD/PID控制（含LVDC降噪电源）

30℃/min

最小温控速度±0.01℃/min

温度分辨率0.01℃RTD传感器

温度稳定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

软件功能 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数

探针 默认为铼钨材质的弯针探针

探针座可从外部XYZ移动的探针臂

点针从外部移动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

探针接口默认为SMA接头转BNC

*可增设腔内接线柱（样品接电引线）

样品台面电位 默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

光学参数

适用光路 反射光路

窗片可拆卸与更替的窗片

最小物镜工作距离8/12 mm（可选）*截面图中WD

上盖窗片观察窗片范围φ45mm，最大视角±50°*截面图中θ1

负温下窗片除霜 吹气除霜管路

结构参数

适用样品 26 mm直径（标准）

样品腔高4/8 mm（可选）

探针座可从外部XYZ移动的探针臂

粗调模式+微调模式，XY粗调20mm

XY微调行程10mm,Z微调3mm

调节精度10um

气氛控制真空腔，也可充入保护气体

外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

台体尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm/4kg

配置列表

基本配置 真空型台式探针台、mK2000B温控器

可选配件 安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、显微镜头、防震桌、真空系统、测试源表、三同轴BNC、台面电悬空、样品接电引线

典型应用

表征薄膜、二维材料、纳米材料和分子/有机材料器件的电性能测试

需要加热块表面电接地、接同轴BNC接口、三同轴BNC接口的

需要钨铼探针、铍铜探针或其他材料的探针的

需要从外部对台体内探针进行XYZ移动的

晶圆、半导体器件、集成电路、印刷电路板、光伏板、LCD/LED测试

测量IV和CV特性、击穿电压、漏电流、电阻、介电常数和二极管效率

HCP402V-MPS温度范围其他可选型号

TP102V-MPS 温度范围-40℃~180℃，样品区,40mm*40mm

HCP421V-MPS温度范围-190℃~400℃，样品区

Φ26mm-190℃~400℃，样品区50mm*50mm

HP1000G-MPS温度范围35℃~1000℃，样品区25mm*25mm,气密腔室

定制型号 按客户需求定制，最大适用300mm晶圆样品