微型探针冷热台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

HCP421V-PM微型探针冷热台可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在-190℃~400℃范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

微型探针冷热台功能特点

迷你温控探针台，可用于显微镜/光谱仪

-190℃~400℃可编程控温（负温需配液氮制冷系统）

φ26 mm加热区

可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

SMA接头转BNC四探针，手动点针,

*可选六探针*可选三同轴接口，用于pA的级测试

温控参数

温度范围-190℃~400℃（负温需配液氮制冷系统）

传感器/温控方式100Ω铂RTD/PID控制（含LVDC降噪电源）

最大加热/制冷速度30℃/min

最小加热/制冷速度±0.01℃/min

温度分辨率0.01℃

温度稳定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

软件功能可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数

探针默认为铼钨材质的弯针探针*可选其他种类探针

探针座杠杆式探针支架，点针力度更大，电接触性更好

点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

探针接口默认为SMA接头转BNC

*可增设腔内接线柱（样品接电引线）

样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

非磁性改造台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试

光学参数

适用光路反射光路*另有透射光路型号

窗片可拆卸与更替的窗片

最小物镜工作距离8 mm*截面图中WD

透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路

上盖窗片观察窗片范围φ18mm，最大视角±45°*截面图中θ1

负温下窗片除霜吹气除霜管路

结构参数

加热区/样品区φ26 mm

样品腔高5.8 mm*样品最大厚度由探针决定

放样打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针

气氛控制可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

安装方式水平安装或垂直安装

台体尺寸/重量180 mm x 130 mm x 27 mm/1600g

配置列表

基本配置HCP421V-PM温控探针台、mK2000B温控器、外壳循环水冷系统

可选配件安装支架、测试源表、真空系统、三同轴BNC接口、台面电悬空、样品接电引线