显微镜冷热台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。此外冷热台带有可从密封腔外移动样品的XY样品微分移动尺。

HCS621GXY显微镜冷热台专为显微镜/光谱仪设计。此款冷热台可在-190℃~600℃范围内控温，同时允许光学观察和样品气体环境控制。热台上盖与底壳构成一个气密腔，可往内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。此外冷热台带有可从密封腔外移动样品的XY样品微分移动尺。此外另有真空腔型号HCS421VXY提供。

显微镜冷热台功能特点

适用于显微镜/光谱仪

-190℃~600℃可编程控温（负温需配液氮制冷系统）

直径26 mm带通光孔的加热区

在XY方向移动样品的微分移动尺

可充入保护气体的气密腔（另有真空腔型号）

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

温控参数

温度范围 -190℃~600℃（负温需配液氮制冷系统）

加热块材质银

传感器/温控方式100Ω铂RTD/PID控制

最大加热/制冷速度+150℃/min（100℃时）

-50℃/min（100℃时）

最小加热/制冷速度±0.01℃/min

温度分辨率0.01℃

温度稳定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

软件功能 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

光学参数

适用光路 透射光路和反射光路

窗片可拆卸与更替的窗片

最小物镜工作距离5 mm*截面图中WD

最小聚光镜工作距离11.5 mm*截面图中CWD

透光孔φ2 mm*截面图中φVA

上盖窗片观察窗片范围φ18mm，最大视角±58°*截面图中θ1

底部窗片观察窗片范围φ18mm，最大视角±19°*截面图中θ2

负温下窗片除霜 吹气除霜管路

结构参数

加热区/样品区 Ø26 mm

*使用XY移动尺时样品区由样品衬底决定

样品腔高2.5 mm

*样品最大厚度=样品腔高–样品衬底厚度

样品衬底默认为石英坩埚（内径>9mm/厚0.5mm）

*可根据用户使用需求更换为其他

放样水平抽出上盖后置入样品

样品XY移动尺可从密封腔外移动样品，分辨率10μm，行程10mm

气氛控制气密腔，可充入保护气体

外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

安装方式水平安装或垂直安装

台体尺寸/重量 159.7 mm x 86 mm x 22 mm/500g

配置列表

基本配置 HCS621GXY冷热台、mK2000B温控器

可选配件冷热台安装支架、液氮制冷系统、外壳循环水冷系统、、

真空系统（仅用于真空型号）

适用范围

用于搭配Instec冷热台、Instec温控探针台、Instec温控晶圆夹盘、Instec冷热平板、Instec定制温控装置使用。

温控配件系列

安装支架：用于将温控装置固定在用户设备上

mK2000B温控器，含InstecAPP温控软件，温控装置必选

LN2-SYS液氮制冷系统：液氮泵+液氮罐+液氮管线

外壳循环水冷系统，帕尔贴式温控装置必选

MITO系列温控联用显微镜相机，含控制软件

LWDC2长工作距离聚光镜

真空系统：包括真空泵+真空管路，用于真空型温控装置

LN2-SYS液氮制冷系统

主要分为液氮泵和液氮罐两部分。使用时需用管路将温控装置串接在液氮罐和液氮泵之间，温控装置加热块内埋有封闭式进出管路，液氮泵受mK2000B控制进行抽气，把液氮从液氮罐内吸到温控装置的加热块中，实现温控装置主动降温。

外壳循环水冷系统

用于温控装置的外壳/底座的冷却。温控装置加热/制冷时，外壳/底座温度会被带得很烫/很凉，危害周遭人员设备甚至设备自身。用循环水让外壳温度保持在常温附近，能有效预防此灾害。

mK2000B温控器

支持恒温、恒速率变温、暂停、编程温控功能。具有冷热独立的多段PID控制、可保存4套20段校准表等特点。可独立控制，也可从InstecAPP软件控制。

温度分辨率±0.001℃(热敏电阻)，±0.01℃(RTD)，±0.1℃(热电偶)

控制接口USB虚拟串口可选其他接口

可选项LVDC线性可调直流电源，用于降低电噪音

温控软件 InstecAPP，可提供多语言SDK

安装支架

针对用户设备定制，可让热台水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用户设备皆可适用。通常有：

圆环式（用于圆形载物台），平板式（用于方形载物台）、

载物台式（用于代替设备载物台）、立式（用于水平光路）。